高純度薬液の不純物除去

半導体製造に利用されるフォトレジストに代表されるような、高純度が求められる薬液の製造においては、微細な不純物、異物、ゲル状物質をろ過して除去する必要があります。

ポリフィックスは、クリーンルーム環境下で製造され、特殊な洗浄処理によって付着した微粒子や金属イオンの溶出が低減された、クリーンな中空糸膜です。ろ過面積が大きく、高流量、低圧損、長寿命のフィルターであり、薬液を高純度にろ過します。